【行业资讯】工业气体监测需求向半导体与新能源加速转移

2026年工业气体在线监测需求正经历深刻变革。随着AI算力爆发推动晶圆代工产业扩张，先进制程对电子特气纯度要求极高，促使半导体产线对微量氧、一氧化碳等气体的在线分析需求激增。

同时，在新能源领域，锂电池热失控防范成为安全管控核心，驱动企业大规模部署气体在线监测系统。在自主可控战略要求下，国内高端气体监测设备正加速从“验证导入”迈入“批量供货”阶段。

国内气体传感企业依托核心技术，已形成适配半导体制造的配套在线监测产品矩阵。

针对半导体腔室低氧/无氧环境及特气管线，自主研发的微量氧分析仪、一氧化碳电化学传感器等关键部件，已获得国内主要半导体设备厂商采购订单并实现批量供货。

未来还将拓展质量流量控制器（MFC）等应用，深化优质客户合作，全面助力半导体高端装备的国产化与安全运行。

国家鼓励发展的新型温室气体在线监测系统采用自研8通道NDIR光学平台，最多可实现7种不同气体的同步检测。

该系统打破了国外企业在高精度测量领域的垄断，产品国产化率高达95%，核心技术指标超过国际同类产品，有力支撑了国内碳监测能力建设，助力“双碳”目标实现。